Mašina za mokro tretiranje wafer-a

Robotechnik Europe OPTIwet ST30

Postrojenje za mokrohemijsku obradu wafer-a do 12 inča, supstrata do X/Y 9 inča/9 inča, samostalno kućište, procesni moduli, PP procesna komora, 2 programske medijske ruke, brzina vrtenja 1-4000 o/min, ubrzavajuća rampa 1-3000 o/min, vreme vrtenja 1-999 s, izduvavanje procesnog bazena 2x DN110, komora 2x DN110, kućište 1x DN110, upravljanje 1x DN110 (svaka po 200 m³/h), CDA 8+/-2 bara, vakuum -0,8+/-0,2 bara, azot 4,0+/-0,5 bara, 3 odvoda medija, kanta za otpad za 2 otpadna koncentrata, kutija za reagense sa tlačnim rezervoarom, 4 Julabo termostatske kupke. Postrojenje je rastavljeno prilikom demontaže. Pregled moguć po dogovoru.
Nedpfx Ajxzii Ujbwjdd

Reklama je automatski prevedena i došlo je do nekih grešaka prilikom prevoda.